可在无尘室之间构筑立体的自动搬运流水线。 以本公司独自的搬运技术,垂直分类搬运机High-Tray(循环托盘搬)方式为基础,塑造出了具备FOUP搬送所需的各种专用机能对应的无尘室垂直分类机型。为使在高层生产据点,各楼层之间的搬入·搬出作业可在所有楼层同时进行,这款划时代的垂直搬送系统能做到入库作业集中在1层的同时,其他各楼层的入·出库作业也可照常进行。 |
垂直连续托盘搬运机无尘垂直分类搬运机 FOUP专用 HDFF 洁净度:对应等级100~。 适用于半导体及液晶基板等的生产工厂内的无尘车间,洁净度从(等级100~)开始都可对应。 | |
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保持洁净度的各种措施通过[●本体为FOUP搬送区域和原动力部·链条等有可能产生灰尘的驱动区域分割开的双区域构造●各区域的净化●防止灰尘侵入无尘室等],以及对搬运物的冲击进行抑制的措施[●装载机升降构造●采用伺服马达等]在维持无尘室楼层之间的洁净度的同时,安静柔和进行自动搬运。 |
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因为它是托盘循环的连续搬运形式,所以搬送能力可以高达1小时400个。当然也可在所有楼层同时地进行搬入·搬出作业。因搬送方向局限于出入口同侧型的,故适用于倚靠墙面的折返型搬送。●最大搬送物尺寸·重量:W430×L360×H340mm/~15kg |
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通过3条链条保持托盘水平的独自的机械构造来确保装载器能够上下移动的空间。与托盘的动作同时,通过装载器上下动作的结构将移载时的冲击控制在0.4G以内,实现了稳定的连续性搬送。●升降速度:6.1m/分●装载器搬送速度:30m/分●单侧自动门 |
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